Piezoresistive Beschleunigungssensoren
Piezoresistive Beschleunigungsaufnehmer messen statisch und dynamisch. Tritt eine beschleunigende Kraft auf, wird der Träger der seismischen Masse gebogen und die auf dem Träger angebrachten sensitiven Elemente gedehnt. Über den piezoresistiven Effekt kann diese Dehnung gemessen und umgerechnet werden.
Sie sind in verschiedenen Größen, Formen, mit oder ohne integrierten Verstärker verfügbar.
Typische Anwendungen:
- Crash
- Road-Load data
- Fallversuche
Kapazitive und piezoresistive Sensoren können für statische und quasi-statische Anwendungen (Fahrdynamik, Komfort, langsame Bewegungen etc.) eingesetzt werden, eignen sich aber auch für Crash und Fallversuche. Dynamische Anwendungen sind dabei bis auf wenige Ausnahmen – abhängig vom Typ – auf einige hundert Hertz bis einige kHz beschränkt.

Weitergehende Erläuterungen finden Sie in unserem Sensorlexikon
Abbildung
Beschreibung
Typ
Name
Messbereich
min/max
Link
Beschreibung
Typ
Name
Messbereich
min/max
Link
einachsiale MEMS-Beschleunigungssensoren

piezoresistiver MEMS-
Beschleunigungs-
aufnehmer

mV- Brückenausgang
robust
64B
±50g bis ±6.000g

triachsiale MEMS-Beschleunigungssensoren
einachsiale Biegebalken-Beschleunigungssensoren

Biegebalken-
Beschleunigungs-
aufnehmer

mV- Brückenausgang
robust
öl-gedämpft
40A
±50g bis ±2.000g


Ultra-Miniatur Biegebalken-Beschleunigungsaufnehmer
ab 0 Hz (DC) bis 3 kHz Dämpfungsfaktor 0,7 Überlastanschläge
EGAXT
±5 bis ±2.500 g

triachsiale Biegebalken-Beschleunigungssensoren
Beschleunigungssensoren für Platinenmontage

Eine Trägemasse getragen durch Biegebalken wird mikromechanisch geätzt. Piezoresistive Widerstände werden in den Biegebalken ionen-implantiert und als Wheatstonesche Brücke geschaltet. Eine Beschleunigung bewegt die Trägemasse, verstimmt somit die Brücke und liefert ein zur Beschleunigung proportionales Signal.
