Piezoresistive Beschleunigungssensoren

Piezoresistive Beschleunigungsaufnehmer messen statisch und dynamisch. Tritt eine beschleunigende Kraft auf, wird der Träger der seismischen Masse gebogen und die auf dem Träger angebrachten sensitiven Elemente gedehnt. Über den piezoresistiven Effekt kann diese Dehnung gemessen und umgerechnet werden.

Sie sind in verschiedenen Größen, Formen, mit oder ohne integrierten Verstärker verfügbar.

Typische Anwendungen:

• Crash
• Road-Load data
• Fallversuche

Kapazitive und piezoresistive Sensoren können für statische und quasi-statische Anwendungen (Fahrdynamik, Komfort, langsame Bewegungen etc.) eingesetzt werden, eignen sich aber auch für Crash und Fallversuche. Dynamische Anwendungen sind dabei bis auf wenige Ausnahmen – abhängig vom Typ – auf einige hundert Hertz bis einige kHz beschränkt.

Funtionsprinzip piezoresistiver MEMS-Beschleunigungsaufnehmer  
Weitergehende Erläuterungen finden Sie in unserem Sensorlexikon

piezoresistiver MEMS-
Beschleunigungs-
aufnehmer
Crash
mV- Brückenausgang
robust
64B
±50g bis ±6.000g

piezoresistiver MEMS-
Beschleunigungsaufnehmer
einaxial
mV- Brückenausgang
sehr preiswert
1201F
±50 bis ±2000 g

piezoresistiver MEMS-Beschleunigungsaufnehmer
einaxial
mV- Brückenausgang
Gewindebohrung, Steckeranschluß
3801A
±2 bis ±2000 g

piezoresistiver MEMS-
Beschleunigungsaufnehmer
triaxial
mV- Brückenausgang
sehr preiswert
1203
±50 bis ±1.000 g

piezoresistiver MEMS-
Beschleunigungsaufnehmer
triaxial
Crash
mV- Brückenausgang
schmal, preiswert
53 / 53A
±50 bis ±2.000 g

piezoresistiver MEMS-
Beschleunigungsaufnehmer
triaxial
SAE-J211/J2570
mV- Brückenausgang
robust
68CM1
±50 g/ ±2.000 g

piezoresistiver MEMS-Beschleunigungsaufnehmer
triaxial
FA3650
±50 bis ±500 g

Rennsport Beschleunigungsaufnehmer
triaxial
XA 3001
±6 bis ±20 g

Biegebalken-
Beschleunigungs-
aufnehmer
Crash
mV- Brückenausgang
robust
öl-gedämpft
40A
±50g bis ±2.000g

Ultra-Miniatur Biegebalken-Beschleunigungsaufnehmer
ab 0 Hz (DC) bis 3 kHz
Dämpfungsfaktor 0,7
Überlastanschläge
EGAXT
±5 bis ±2.500 g

Miniatur Biegebalken-Beschleunigungsaufnehmer
ab 0 Hz (DC) bis 4 kHz
Dämpfungsfaktor 0,7
Überlastanschläge
EGCS-D0/D1S
±5 bis ±5.000 g

piezoresistiver Beschleunigungsaufnehmer
für Stoßtests
bis 20.000g überlastgesichert
stark beanspruchbar, robust
statische und dynamische Messung
EGCS-D5
±50 g bis ±10.000 g
optional: ±20.000 g
Bandbreite: bis 5kHz

triax. Biegebalken-
Beschleunigungsaufnehmer
Flüssigkeitsgedämpft
triaxial
mV- Brückenausgang
EGCS3-D
±5 bis ±5.000 g

triax. Ultra-Miniatur-Biegebalken-Beschleunigungsaufnehmer
triaxial
ab 0 Hz (DC) bis 3 kHz
Dämpfungsfaktor 0,7
Überlastanschläge
EGAXT3
±5 bis ±2.500 g

Miniatur MEMS-Beschleunigungsaufnehmer
bis 10.000g stoßfest
mV Ausgangssignal
piezoresistiv
3038
±50 bis ±6.000 g

Eine Trägemasse getragen durch Biegebalken wird mikromechanisch geätzt. Piezoresistive Widerstände werden in den Biegebalken ionen-implantiert und als Wheatstonesche Brücke geschaltet. Eine Beschleunigung bewegt die Trägemasse, verstimmt somit die Brücke und liefert ein zur Beschleunigung proportionales Signal.