Der weltkleinste 6-Achsen-Kraftsensor nutzt MEMS-Technologie auf einer hochleistungsfähigen Biege-Metall-Struktur, um Kraft- und Drehmoment jeweils in allen drei Achsen zu messen. Der monolithische, strain gage MEMS-Chip wird mit einem speziellen Verfahren geätzt, um einen hochsensiblen Kraft- und Drehmomentsensorchip zu erhalten, der zudem während der Installation und im Betrieb lediglich einen geringen Drift aufweist.

Der ultrakleine 6-Achsen Kraft-/Drehmomentsensor misst nur Ø 9,6mm x 9,0 mm und…[mehr]